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학술대회자료
저자정보
김기홍 (한국기계연구원) 권순근 (한국기계연구원)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 춘계학술대회 논문집
발행연도
2021.5
수록면
620 - 620 (1page)

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나노 제품의 대량 생산을 위하여 나노 임프린팅 공정을 적용한 롤투롤 공정 기술이 최근 주목을 받고 있다. 롤투롤 공정에서 핵심 부품은 나노 패턴을 가진 롤 금형에 있으며, 이를 제작하기 위하여 롤투롤 복제 공정, 전주도금 공정을 이용한 평판 복제 공정 등 다양한 기술이 시도되었다. 이러한 몰더 제작 공정은 모두 소형의 나노 패턴을 가진스탬프를 확장하여, 비록 단위 복제 영역 사이에 이음매가 존재하더라도 이를 확장하여 대면적화하는데 초점을 두고 있다. 따라서 이음매를 최소화하고 연속적인 나노 패턴 영역을 최대화하 하기 위해서는 대면적의 나노 패턴 스탬프를 제작하는 기술이 중요하다. 일반적으로 나노 패턴 스탬프는 Electron ... 전체 초록 보기

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