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이제민 (창원대학교) 김석 (창원대학교) 서보욱 (창원대학교) 김우영 (창원대학교) 이제민 (창원대학교) 조영태 (창원대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집
발행연도
2021.11
수록면
395 - 395 (1page)

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최근 나노 임프린트 리소그래피를 통해 마이크로, 나노 패턴의 대면적화를 위한 연구가 많이 진행되고 있다. 이는 연속적인 임프린트 공정을 통해 패턴을 크게 제작하는 것인데, 이때 정렬 공정의 문제에 의해 패턴의 이음부에는 패턴이 없는 Seam 이 발생하게 된다. Seam 에는 패턴이 없기 때문에 초발수 특성 등과 같은 표면특성의 효율이 저하되거나 잃는 경우가 많기 때문에, 이는 표면 결함으로 분류된다. 따라서 본 논문에서는 패턴을 정렬하는 방법을 연구하였다. 이는 패턴 자체를 정렬마크로 활용하는 것으로, 임프린트된 패턴과 몰드상의 패턴을 겹쳐 일치시키는 방법으로 주기적이고 같은 형상을 가지는 두 패턴을 겹쳐서 일치시키는 것이다. 주기적인 ... 전체 초록 보기
#Nanoimprint lithography #Pattern alignment #Fast fourier transform

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