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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.5
- 수록면
- 91 - 91 (1page)
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박막을 증착 하는 기술에는 spputer, evaporator, Atomic Layer deposition(ALD)등 다양한 방법을 통하여 박막을 증착 할 수 있다. ALD방법을 이용하여 증착 시 layer by layer구조를 통하여 박막을 Å단위로 증착 가능하고 커버리지가 우수한 장점을 가진다. ALD 방식을 통하여 MoO<SUB>X</SUB>를 5 nm부터 15 nm두께로 증착 높은 패시베이션 확보를 위해 1nm interlayer Al2O3를 도입하였다 ... 전체 초록 보기
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