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자료유형
학술저널
저자정보
오규상 (한국세라믹기술원) 이성민 (한국세라믹기술원) 류성수 (한국세라믹기술원)
저널정보
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제27권 제4호
발행연도
2020.1
수록면
293 - 299 (7page)

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W2C is synthesized through a reaction-sintering process from an ultrafine-W and WC powder mixture using spark plasma sintering (SPS). The effect of various parameters, such as W:WC molar ratio, sintering temperature, and sintering time, on the synthesis behavior of W2C is investigated through X-ray diffraction (XRD) analysis, scanning electron microscopy (SEM) analysis of the microstructure, and final sintered density. Further, the etching properties of a W2C specimen are analyzed. A W2C sintered specimen with a particle size of 2.0 μm and a relative density over 98% could be obtained from a W-WC powder mixture with 55 mol%, after SPS at 1700oC for 20 min under a pressure of 50 MPa. The sample etching rate is similar to that of SiC. Based on X-ray photoelectron spectroscopy (XPS) analysis, it is confirmed that fluorocarbon-based layers such as C-F and C-F2 with lower etch rates are also formed.
#Tungsten carbide W2C #Spark plasma sintering #Reaction-sintering #Etching property

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M. Schaepkens / 1998 / J. Vac. Sci. Technol. A 16:2099 google schola Y. Kobayashi / 2005 / Proc. 37th Seminar on High-Temperature Ceramics 19:1 google schola N. Ito / 2008 / Jpn. J. Appl. Phys 47:3630 google schola G. S. May / 2006 / Fundamentals of Semiconductor Manufacturing and Process Control / John Wiley &Sons google schola A. J. van Roosmalen / 2013 / Dry Etching for VLSI / Springer Science & Business Media google schola

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