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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
정명준 (서울과학기술대학교) 윤예준 (서울과학기술대학교) 변종민 (서울과학기술대학교) 최병준 (서울과학기술대학교)
저널정보
한국분말야금학회 한국분말야금학회지 한국분말야금학회지 제28권 제3호
발행연도
2021.1
수록면
239 - 245 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2022

SnSe 분말 위 원자층 증착 ZnO 박막의 특성에 따른 열전 소자의 성능 비교
정명준 ,  원예빈 ,  박지영 외 1명 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2022.06 학술대회자료

2021

회전형 원자층 증착기의 회전 속도에 따른 SnSe 분말 상 ZnO 박막 증착
정명준 ,  윤예준 ,  변종민 외 1명 한국분말야금학회지 2021.01 학술저널

초록· 키워드

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The SnSe single crystal shows an outstanding figure of merit (ZT) of 2.6 at 973 K; thus, it is considered to be a promising thermoelectric material. However, the mass production of SnSe single crystals is difficult, and their mechanical properties are poor. Alternatively, we can use polycrystalline SnSe powder, which has better mechanical properties. In this study, surface modification by atomic layer deposition (ALD) is chosen to increase the ZT value of SnSe polycrystalline powder. SnSe powder is ground by a ball mill. An ALD coating process using a rotary-type reactor is adopted. ZnO thin films are grown by 100 ALD cycles using diethylzinc and H2O as precursors at 100oC. ALD is performed at rotation speeds of 30, 40, 50, and 60 rpm to examine the effects of rotation speed on the thin film characteristics. The physical and chemical properties of ALD-coated SnSe powders are characterized by scanning and tunneling electron microscopy combined with energy-dispersive spectroscopy. The results reveal that a smooth oxygenrich ZnO layer is grown on SnSe at a rotation speed of 30 rpm. This result can be applied for the uniform coating of a ZnO layer on various powder materials.
#Thermoelectric materials #Atomic layer deposition #Rotary reactor #SnSe powder #ZnO layer

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X. L. Shi / 2020 / Chem. Rev 120:7399 google schola N. Ma / 2020 / J. Am. Chem. Soc 142:5293 google schola Y. Zhang / 2019 / J. Mater. Chem. A 7:26053 google schola Y. Jin / 2020 / ACS Appl. Mater. Interfaces 12:36589 google schola M. J. Lee / 2016 / Nat. Commun 7:12011 google schola

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