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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이상호 (부경대학교) 김용훈 (부경대학교) 김용한 (부경대학교) 임권택 (부경대학교)
저널정보
한국화상학회 한국화상학회지 한국화상학회지 제21권 제3호
발행연도
2015.1
수록면
1 - 6 (6page)

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Micro-electromechanical systems (MEMS) 구조물용 고 종횡비의 외팔보 제작을 목적으로 초임계 이산화탄소를 사용한 건식 식각 실험을 진행하였다. 건식 식각 실험은 초임계 이산화탄소에 50% 불산 (HF) 원액과 공용매 (물, 메탄올, 에탄올, 이소프로필 알콜)를 사용하여 진행되었다. 희생 실리카 층을 식각하여 드러난 MEMS 외팔보 빔은 주사전자현미경을 이용하여 관찰하였다. HF원액을 사용한 건식 식각 실험은 종횡비 1 : 150의 외팔보 빔까지 기판과 접착없이 단독으로 서 있는 형태로 제작되었다. 공용매로 메탄올과 에탄올을 사용한 건식 식각의 결과에서는 종횡비 1 : 75 까지 접착없이 제작할 수 있었고, 이소프로필 알콜을 공용매로 첨가한 실험 결과에서는 종횡비 1 : 37.5 까지 접착없이 제작할 수 있었다. 본 연구의 결과 건식 식각과정에서 알콜계 공용매의 첨가는 대체로 식각 성능을 저하시킴을 알 수 있었다.

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D. J Monk / 1993 / Determination of the Etching Kinetics for the Hydrofluoric Acid/Silicon Dioxide System / J. Electrochem. Soc 140:2339~2346 google schola T. Hattori / 2014 / Non-Aqueous Cleaning Challenges for Preventing Damage to Fragile Nano-Structures: A Review / ECS J . Solid State Sci. and Tech 3(1):N3054~N3059 google schola P. D Moor / 1999 / Linear array of uncooled poly SiGe microbolometers for IR detection / Proc. SPIE 3876:256~259 google schola D. J Monk / 1991 / Sacrificial Layer SiO2 Wet Etching for Micro Machining Applications / Transducer :647~650 google schola N. Tas / 1996 / Stiction in surface micromachining / J . Micromech. Microeng 6:385~397 google schola

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