압력감지형 EGaIn 소프트 센서 제작

조근식; 박용재

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 조근식 (강원대학교) 박용재 (강원대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 한국정밀공학회 2021년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2021.11

수록면: 190 - 190 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (6)

2022

압력 위치 인식이 가능한 압력감지 EGaIn 소프트 센서

조근식 , 이세형 , 서영호 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.10 학술대회자료

압력기반 위치 인식 EGaIn 소프트 센서의 연구

조근식 , 이세형 , 서영호 외 1명 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2022.05 학술대회자료

2021

압력감지형 EGaIn 소프트 센서 제작

조근식 , 박용재 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.11 학술대회자료

소프트 그리퍼에 적용한 EGaIn 소프트 센서의 검증

조근식 , 박용재 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2021.05 학술대회자료

EGaIn 센서를 적용한 가변강성 소프트 그리퍼 개발

조근식 2021.01 학위논문

2020

회전 그리핑이 가능한 소프트 그리퍼에 EGaIn 센서를 적용한 연구

조근식 , 박용재 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2020.09 학술대회자료

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본 연구는 기존 가변강성 메커니즘을 이용한 소프트 그리퍼에 EGaIn 소프트 센서를 적용한 연구의 후속연구이다. 선행연구에서는 제작환경의 한계로 EGaIn 이 주입될 경로를 3 mm 로 넓게 설계하였으며 경로에 돌기들을 배치해 압력을 측정하는데 적합하도록 설계하였다. 이 경로를 얇게 제작하기 위한 연구를 진행하였으며 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성해 몰드로 사용하였다. 이 실리콘 웨이퍼에 패턴을 형성하기 위해 먼저 웨이퍼 배면에 형성되어 있는 산화막을 제거하고 SU-8 Photoresist 를 코팅한다. 코팅 1 차 조건은 15 초간 1,500, 2 차 조건은 60 초간 3,000 rpm 으로 진행하였다. 이후 Soft Bake 공정을 진행하고 패턴이 그려진 Photomask 를 웨이퍼에 올려 UV 를 조사하고 SU-8 Developer 을 사용하여 현상 공정을 진행하였 ... 전체 초록 보기

#EGaIn soft sensor #Soft sensor #Soft robot #Soft pressure sensor

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조근식

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Y. J. Park

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박용래 대한기계학회 춘추학술대회 2017 .11

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