반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

Wafer Pattern Recognition Using a 3D Image Processing Method in Semiconductor Manufacturing Process

송승환 ,  백준걸

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

반도체 팹에서의 투입 로트 구성을 위한 다차원 동적계획 알고리듬

방준영 ,  임승길 ,  김재곤

산업경영시스템학회지

2016 .01

반도체 웨이퍼 가공 공정의 이상감지 및 분석을 위한 방법론 개발

유준수 ,  박양병

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

반도체 제작을 위한 웨이퍼 배치 내부 유동 분석

강승환 ,  손동기 ,  고한서

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2017 .11

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

Interconnection in Semiconductor Fabrication

Jae Jeong Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .05

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

Fourier Filter를 이용한 비전 기반 반도체 Wafer 결함 검출

권용백 ,  김양중

한국통신학회 학술대회논문집

2020 .11

플렉서블 반도체 패키징 기술 및 응용

임재성 ,  김동현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots

H. Kim ,  S. J. Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

머신 러닝 모델을 활용한 웨이퍼 불량 탐지 및 테스트 항목 효율화

김호영 ,  강필성

대한산업공학회지

2022 .12

반도체 웨이퍼 핸들링 포토공정 컴팩트 모듈개발

김범준

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

구조 안정성 향상을 위한 Wafer Grinder의 설계 개선

신윤호 ,  노승훈 ,  윤현진 외 4명

반도체디스플레이기술학회지

2019 .01

Semiconductor Wafer Defect Classification Using Support Vector Machine with Weighted Dynamic Time Warping Kernel Function

Young-Seon Jeong

Industrial Engineering & Management Systems

2017 .09