Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현; 안지훈; 허수미

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이창현 (전남대학교) 안지훈 (전남대학교) 허수미 (전남대학교)

저널정보: 한국고분자학회 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 한국고분자학회 2022년도 추계학술대회 연구논문 초록집 제47권 제2호

발행연도: 2022.10

수록면: 88 - 88 (1page)

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2023

LER Reduction in EUV Lithography using DSA of Janus-Type Bottlebrush Polymers

이창현 , 안지훈 , 최여진 외 1명 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2023.10 학술대회자료

2022

Reduction of LER in EUV Lithography Assisted by Block Copolymer Self-Assembly

이창현 , 안지훈 , 허수미 한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집 2022.10 학술대회자료

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