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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
김한상 (충북대학교) 김성진 (충북대학교)
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제30권 제8호
발행연도
2017.8
수록면
484 - 490 (7page)
DOI
https://doi.org/10.4313/JKEM.2017.30.8.484

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용액 공정을 이용하여 IZO 박막 기반의 저항 스위칭 메모리를 제안하였다. IZO 제작 시 indium과 zinc를 6:4의 비율로 제작하였고, I-V curve 측정을 통해 전류량과 방향에 따른 write, erase가 가능함을 확인하였다. 또한 maximum ON/OFF current ratio가 대략 2.5 V의 전압을 인가했을 때 3.6 × 103까지 도달하고, minimum ON/OFF current ratio가 대략 2.9 V의 전압을 인가했을 때 1.0 × 101임을 통해 current hysteresis를 확인함으로써 저항 기반의 비휘발성 메모리 소자의 특성을 측정하였다.

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