Effect of Double Junctions in Nano Structure Oxide Materials and Gas Sensitivity

오데레사

doi:https://doi.org/10.1007/s42341-018-0055-3

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자료유형: 학술저널

저자정보: 오데레사 (청주대학교)

저널정보: 한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제19권 제5호

발행연도: 2018.10

수록면: 382 - 386 (5page)

DOI: https://doi.org/10.1007/s42341-018-0055-3

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To research the CO 2 sensibility of ZnO based on the oxide semiconductor, ZnO, fi lms were prepared with various annealingtemperatures and the current?voltage characteristics of the ZnO and SnO 2 fi lms were measured in diff erent CO 2 ambientconditions using the structure of a metal/semiconductor/Si-wafer. The oxygen vacancy of ZnO changed with the annealingtemperatures, and ZnO with the lowest content of oxygen vacancy had two junctions due to its structural matching anddegradation of oxygen vacancy at the interface. The oxide semiconductor with two junctions displayed good sensibility ofCO 2 gas. The eff ect of the two junctions at the ZnO and SnO 2 thin fi lms were observed by the annealing treatment at 110 °C. The oxygen vacancy was closely related with the conductivity of the oxide semiconductor and sensibility of CO 2 gas. Thetwo-junction eff ect for the Schottky contact to assure a high quality semiconductor device will contribute to further strategicresearches to develop the ionic gas sensor application.

#ZnO #SnO 2 #XRD #Junction #Oxygen vacancy #Capacitance

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Jingtao Zhao / 2017 / Effects of Floating Gate Structures on the Two-Dimensional Electron Gas Density and Electron Mobility in AlGaN/AlN/GaN Heterostructure Field-Effect Transistors / Journal of the Korean Physical Society 71(12):963~967

Teresa Oh / 2010 / Comparison between SiOC Thin Films Fabricated by Using Plasma Enhance Chemical Vapor Deposition and SiO2 Thin Films by Using Fourier Transform Infrared Spectroscopy / Journal of the Korean Physical Society 56(4):1150~1155

오데레사 / 2015 / ZnO, SnO2, ZTO 산화물반도체의 전기적인 특성 분석 / 한국재료학회지 25(7):347~351

Hang Nguyen Thai Phung / 2017 / Effect of Co-Doping and Tri-Doping with Transition Metals and a Nonmetal on Photocatalytic Activity in Visible Light of TiO2 Thin Film / Journal of the Korean Physical Society 70(11):995~1000

김현태 / 2018 / Growth of Sheet-like ZnO Nanostructures on ZnO nano rods using Chemical Bath Deposition / Applied Science and Convergence Technology 27(2):38~41

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