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자료유형
학술저널
저자정보
K. Girija Sravani (MEMS Research Center) G. Sai Lakshmi (MEMS Research Center) K. Srinivasa Rao (MEMS Research Center)
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제20권 제3호
발행연도
2019.6
수록면
198 - 205 (8page)
DOI
https://doi.org/10.1007/s42341-019-00098-7

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Diabetes is a metabolic disorder which is due to high sugar levels. Symptoms of diabetes are frequent urination, increased hungry and increased thirst. Here we are using electro-osmotic pressure sensor to measure the change in glucose concentration levels. Silicon dioxide, aluminium nitride and silicon nitride are suitable for microbridge membrane, among them SiO 2 is considered as membrane material due to minimum young’s modulus. Silicon, liquid crystal polymer and glass (quartz) are used for substrate materials, owing to its high cost LCP and glass (quartz) is not much preferable for substrate materials. By using FEM tool, the mechanical behavior of microbridge and electrical response of the Piezo resistors are analyzed based on the non-linearity and sensitivity.
#Diabetes #Osmosis #Glucose pressure sensor #Piezoresistive materials #MEMS

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