Structure and optical properties of anatase thin films produced by filtered cathodic vacuum arc method

Sakon Sansongsiri; Somchai Thongtem

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자료유형: 학술저널

저자정보: Sakon Sansongsiri (Chiang Mai University) Somchai Thongtem (Chiang Mai University)

저널정보: 한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제17권 제12호

발행연도: 2016.12

수록면: 1,283 - 1,286 (4page)

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Titanium dioxide (TiO2) thin films were deposited on glass substrates by filtered cathodic vacuum arc system (lab-made) forvarious number of pulse modes at -50 VDC, and followed by 450 oC annealing in air for 1 hr. The deposition pulses were 500-2,000 pulses and the anatase film thickness was 13.0-37.5 nm. In this research, the roughness was increased with the increasingin the number of deposition pulses and film thickness. The transmission at 600 nm wavelength was 65-85%, decreasing withthe film thickness, and the optical energy gap was in the range of 3.55-3.65 eV

#Anatase thin films #Filtered cathodic vacuum arc #Electron microscopy #Spectroscopy

참고문헌 (39)

참고문헌 신청

K. Reddy / 2002 / Mater. Chem. Phys 78:239

G. X. Liu / 2006 / Integrated Ferroelectrics 81:239

J. Niu / 2014 / Integrated Ferroelectrics 152:163

A. Fujishima / 2000 / Journal of Photochemistry and Photobiology C : Photochemistry Reviews 1:1

R. Dholam / 2008 / International Journal of Hydrogen Energy 33:6896

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