웨이퍼 전영역 TTV 측정을 위한 모듈 설계

안종욱 ,  정안목

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .12

Wafer TTV 측정장비 평행도 보정용 Standard Wafer 개발

곽동근 ,  이동혁 ,  이재민 외 5명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .11

반도체 Back Grinding System 용 TTV 제어 알고리즘

황병현 ,  Lin FuChen ,  김병건 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2023 .05

반도체 Back Grinding System의 Auto TTV 제어 알고리즘

황병현 ,  김병건 ,  박경수

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

매니폴드 노즐 형상변화가 웨이퍼 캐리어 내부 유동특성에 미치는 영향

정문기 ,  강병화 ,  강현영 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

WAFER PROCESS 실시간 모니터링 시스템에 관한 연구

김효남

한국컴퓨터정보학회 학술발표논문집

2015 .01

웨이퍼 변형측정 광학모듈의 성능 및 신뢰성 평가

김재완 ,  이재용 ,  김종안 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

반도체 공정에서의 Wafer Map Image 분석 방법론

유영지 ,  안대웅 ,  박승환 외 1명

대한산업공학회지

2015 .06

Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구

정종완 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정

윤하영 ,  임재승 ,  한성흠 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

A Study on Pressure Distribution for Uniform Polishing of Sapphire Substrate

Chul jin Pa ,  k ,  Haedo Jeong 외 3명

Tribology and Lubricants

2016 .04

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

웨이퍼 본딩 공정을 위한 3채널 비전 얼라이너 개발

김종원 ,  고진석

반도체디스플레이기술학회지

2017 .01

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

합성곱 신경망을 이용한 웨이퍼 맵 기반 불량 탐지

박재선 ,  김준홍 ,  김형석 외 2명

대한산업공학회지

2018 .08