Si CMOS 호환형 Bi-layer(TaO<SUB>x</SUB>/HfO₂) ReRAM 소자에 대한 TaO<SUB>x</SUB> 층의 산소 함량 영향

이원철; 권윤아; 고형호; 이종원

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이원철 (나노종합기술원) 권윤아 (나노종합기술원) 고형호 (충남대학교) 이종원 (나노종합기술원)

저널정보: 대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2023년도 대한전자공학회 하계학술대회 논문집

발행연도: 2023.6

수록면: 667 - 668 (2page)

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