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Quinary component of 3μm thick Ti-Al-Si-Cu-N films were deposited onto WC-Co and Si wafer substrates by using an arc ion plating(AIP) system. In this study, the influence of copper(Cu) contents on the mechanical properties and microstructure of the films were investigated. The hardness of the films with 3.1 at.% Cu addition exhibited the hardness value of above 42 GPa due to the microstructural change as well as the solid-solution hardening. The instrumental analyses revealed that the deposited film with Cu content of 3.1 at.% was a nano-composites with nano-sized crystallites (5–7 nm in dia.) and a thin layer of amorphous Si₃N₄ phase.
목차
Abstract
1. 서론
2. 실험 방법
3. 결과 및 고찰
4. 결론
References
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
Q. He, J. DePaiva, J. Kohlscheenm S. Veldhuis, Analysis of the performance of PVD AlTiN coating with five different Al/ Ti ratios during the high-speed turning of stainless steel 304 under dry and wet cooling conditions, Wear, 492 (2022) 204213.
D. H. Kim, Y. J. Kang, Y. J. Jang, J. K. Kim, Enhanced Wear Resistance of Cutting Tools Using Multilayer ta-C Coating, Journal of the Korean Institute of Surface Engineering, 53 (2020) 360-368.
K. H. Yeo, E. S. Park, H. C. Lee, Characteristics of TiAlCrSiN coating to improve mold life for high temperature liquid molding, Journal of the Korean Institute of Surface Engineering, 54(5) (2021) 285-293.
S. B. Heo, M. S. Lee, H. D. Kim, W. R. Kim, J. H. Kim, I. W. Park, D. Kim, Oxidation behavior of Ti-Al-Si-N-O nanocomposite Films deposited by filtered arc ion plating technique, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 19 (2019) 4195-4198.
N. A. G. Ahmed, Ion plating technology developments and application (1987) 103.
D. H. Kim, Y. J. Kang, Y. J. Jang, J. K. Kim, Enhanced Wear Resistance of Cutting Tools Using Multilayer ta-C Coating, Journal of the Korean Institute of Surface Engineering, 53 (2020) 360-368.
K. H. Yeo, E. S. Park, H. C. Lee, Characteristics of TiAlCrSiN coating to improve mold life for high temperature liquid molding, Journal of the Korean Institute of Surface Engineering, 54(5) (2021) 285-293.
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N. A. G. Ahmed, Ion plating technology developments and application (1987) 103.
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