반도체 CVD공정의 액체 precursor 배관 simulation에 관한 연구

정대창; 김태성

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 정대창 (성균관대학교) 김태성 (성균관대학교)

저널정보: 한국전산유체공학회 한국전산유체공학회 학술대회논문집 한국전산유체공학회 2023년도 추계학술대회 논문집

발행연도: 2023.10

수록면: 116 - 116 (1page)

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반도체 CVD공정의 액체 precursor 배관 simulation에 관한 연구

정대창 , 김태성 대한기계학회 춘추학술대회 2023.11 학술대회자료

반도체 CVD공정의 액체 precursor 배관 simulation에 관한 연구

정대창 , 김태성 한국전산유체공학회 학술대회논문집 2023.10 학술대회자료

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김태성

소속기관 성균관대학교

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