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학술저널
저자정보
최예진 (동의대학교) 강민규 (동의대학교) 이기욱 (동의대학교) 박미선 (동의대학교) 정광희 (동의대학교) 정해균 ((주)셀릭) 김두근 (한국광기술원) 이원재 (동의대학교)
저널정보
한국결정성장학회 한국결정성장학회지 한국결정성장학회지 제34권 제1호
발행연도
2024.2
수록면
8 - 15 (8page)
DOI
10.6111/JKCGCT.2024.34.1.008

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다양한 광학 재료에 사용되는 CaF2 단결정은 밴드갭 (12 eV)이 크고, 넓은 파장영역에서 투과율이 뛰어나며 낮은 굴절률과 분산을 가지는 특징이 있다 . 이런 우수한 특성을 바탕으로 최근 리소그래피 (Lithography) 공정에서 짧은 파장의 광원에서도 사용가능한 렌즈의 재료로 CaF2 단결정이 주목받고 있다 . 다만 CaF2의 경우 157 nm에서 재료 고유의 복굴절이 존재하며, 이로 발생한 수차는 (100)면과 (111)면의 결합을 통해 보상할 수 있기 때문에 면 방향에 따른 특성을 조사하는 것이 필요하다. 이 연구에서는 초크랄스키 (Czochralski) 방법으로 성장하여 상용화 된 CaF2 단결정 웨이퍼를 이용하여 면 방향에 따른 결정성, 광학적 특성을 분석하였다. 특히 chemical etching을 통해 etch pit의 형태가 면 방향에 따라 다르게 나타나는 것을 확인하였고, 결함 분석을 통해 결정 내 전위의 배열과 결함의 존재가 etch pit 형상에 영향을 주는 것을 확인하였다.
#CaF2 #Czochralski method #Crystallinity #Optical properties #Chemical Etching #Etch pit

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