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나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
플라즈마 공정에서의 열 관리
KOSCO SYMPOSIUM 논문집
2015 .05
펄스 플라즈마 기술을 통한 Si trench 의 aspect ratio dependent etching 개선에 대한 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
Research Trend and Future Perspective of Plasma-Assisted Health Care Technology
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2015 .10
Hydrogen-Induced Damage During the Plasma Etching Process
NANO
2017 .01
플라즈마 분야 적용을 위한 펄스전원 개발 및 실험
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Feasibility Study of Monitoring of Particle Generation in Plasma Etching Process by Plasma Impedance Measurement
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2023 .02
부유 고조화 분석법을 이용한 플라즈마 진단 및 플라즈마 공정 모니터링 기술 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .11
플라즈마 코팅의 최신 기술동향과 응용
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
초고속 비행체 항력 감소를 위한 플라즈마 분사장치에 대한 예비 결과
한국추진공학회지
2016 .12
플라즈마 응용 연소 버너 기술 개발
대한설비공학회 학술발표대회논문집
2016 .11
상부 유도 결합 플라즈마에서 챔버 길이에 따른 전기적 특성 및 플라즈마 분포
전기학회논문지
2022 .08
0D 글로벌 모델을 활용한 유도 결합 플라즈마 내부 Ar/H₂S 화학반응 메커니즘 분석
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
플라즈마 공정용 컨버터의 제어
한국조명·전기설비학회 학술대회논문집
2016 .11
플라즈마 가스 개질 응용을 위한 3상 아크 플라즈마 토치 시스템 특성 실험
한국수소및신에너지학회논문집
2023 .02
Quantitative Analysis for Plasma Etch Modeling Using Optical Emission Spectroscopy : Prediction of Plasma Etch Responses
Industrial Engineering & Management Systems
2015 .12
유도 결합 플라즈마를 이용한 Fence free Ta₂O5 박막 식각에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2021 .10
실리콘카바이드 플라즈마 에칭 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
플라즈마 유동해석 코드 개발 (I)
한국전산유체공학회 학술대회논문집
2019 .05
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