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마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
소성·가공
2002 .04
Applications of MEMS and Bio-MEMS Technologies
한국반도체및디스플레이장비학회 International Symposium
2004 .01
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
The Estimation of MEMS Properties
한국CDE학회 학술발표회 논문집
2008 .01
생산기술로서의 MEMS
기계저널
2009 .03
MEMS 기술동향
전기의세계
2006 .10
기계분야 : ″NANO기술 지향형 마이크로 시스템(MEMS) 및 제작기술 (Micromachining)″
한국재료학회 학술발표대회
2003 .01
MEMS : From Research to Applications
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
한국항공우주학회지
2003 .09
MEMS 기술의 센서 응용
대한설비공학회 강연회 및 기타간행물
2001 .11
표면미세가공시 발생하는 MEMS 구조물의 변형 억제
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .08
MEMS 기술의 소개 및 응용
대한기계학회 기타 간행물
2002 .11
MEMS 기술의 광학적 응용
한국통신학회 기타 간행물
2001 .10
MEMS기술 및 정책동향
기계와 재료
2006 .01
MEMS 기술을 이용한 마이크로 전자 패키징 기술
대한용접·접합학회지
2006 .04
MEMS 디바이스의 마모 특성에 대한 연구
한국트라이볼로지학회 학술대회
2016 .04
의료에서의 센서와 MEMS 기술 응용
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
1997 .10
MEMS 기술과 군수산업 ( MEMS Technology in Military Application )
전자공학회지
2001 .03
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