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저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.23 No.8
발행연도
2006.8
수록면
163 - 170 (8page)

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By removing sacrificial layer through ashing process, movable MEMS structure on substrate can be fabricated in surface micro machining. However, MEMS structure includes, during the ashing process, the warping or buckling effects due to stress gradient along the vertical direction of thin film. In this study, we presented method for counteracting the unwanted deflection of MEMS structure and designed using character of deposit process to overcome limited design conditions. Unit cell patterns were designed with character of deposit shape, and their final shapes were adopted using Finite Element Method. Finally, RF MEMS switch was fabricated by surface micro machining as test vehicles. We checked out that alleviation effect for deformation of switch improved by 35%.
#MEMS(마이크로 전기 기계 시스템) #RF Switch(알에프 스위치) #Surface Micromachining(표면미세가공) #Residual Stress(잔류응력) #Finite element Method(유한요소법)

목차

ABSTRACT
1. 서론
2. 잔류응력의 측정 및 해석 모델
3. 변형 억제를 위한 설계
4. 개선된 형상의 실험적 검증
5. 결론
후기
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