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MEMS/Nano 기술에 의한 기계기술의 변화
기계저널
2001 .07
MEMS에서의 마이크로 가공기술 ( Micromachining Technologies of MEMS )
대한기계학회지
1993 .06
설비 기술 분야의 MEMS/Nano 기술 적용
설비저널
2008 .07
[기계관련정책] 기계분야 기반연구: Micromachining 기술
기계저널
2004 .05
마이크로머시닝 기술과 MEMS 광스위치 응용
소성·가공
2002 .04
실리콘 마이크로머시닝 기술과 산업용 MEMS
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2000 .07
MEMS 기술
기계저널
2007 .05
Micromachining 기법으로 제작된 정전형 마이크로모터의 기술동향
전기의세계
1993 .11
표면미세가공시 발생하는 MEMS 구조물의 변형 억제
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2006 .08
기계 분야에서 접근하는 Nano 관련 기술
한국CDE학회지
2004 .12
마이크로 가공기술의 현황과 미래의 마이크로 시스템 ( Progress in Micromachining and Future Micro System )
대한기계학회지
1993 .06
MEMS 기술과 정밀기계산업
전자공학회지
2001 .03
MEMS 기술을 이용한 마이크로 음향센서
소음·진동
2001 .12
생산기술로서의 MEMS
기계저널
2009 .03
MEMS 기술동향
전기의세계
2006 .10
MEMS 기술을 이용한 마이크로 전자 패키징 기술
대한용접·접합학회지
2006 .04
[특집 : MEMS 기술] MEMS 기술의 개요
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology (JAMET)
2005 .07
MEMS-based 마이크로 터보기계의 개발 ( Development of MEMS-based Micro Turbomachinery )
대한기계학회 춘추학술대회
2001 .01
MEMS기술 및 정책동향
기계와 재료
2006 .01
플라즈마 애싱 공정에 의한 표면미세가공 MEMS 구조물의 변형 분석
한국항공우주학회지
2003 .09
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