Direct Wafer Bonding법에 의한 InP 기판과 $\textrm{Si}_3\textrm{N}_4$/InP의 접합특성

김선운 ,  신동석 ,  이정용 외 1명

한국재료학회지

1998 .01

황처리가 금속 / InP Schottky 접촉과 Si3N4 / InP 계면들에 미치는 영향 ( Effects of Sulfur Treatments on metal / Inp Schottky Contact and Si3N4 / InP interfaces )

허준 ,  임한조 ,  김충환 외 3명

전자공학회논문지-A

1994 .12

In2O3 / ( p ) Si 태양전지에 관한 연구 ( A Study on the In2O3 / ( p ) Si Solar Cell Made by PVD )

김익년 ,  전춘생 ,  송인덕 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1989 .01

열로 산화된 InP의 특성에 관한 연구

文東贊 ,  徐英錫 ,  金善泰 외 1명

전기학회논문지

1988 .06

Si 및 InP 위에 PECVD법에 의한 $Si_{3}N_{4}$의 증착

김남준 ,  유순재 ,  김앙서 외 1명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

P+ -In_0.53Ga_0.47As/InP의 저항성 접촉 특성

김남준 ,  이재혁 ,  김돈수 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1995 .06

다결정 Si/SiO₂ ∥ Si 적층구조에서 SiO₂층의 두께에 따른 유전특성의 변화

송오성 ,  이영민 ,  이진우

한국표면공학회지

2000 .08

Capacitance-Voltage Characteristics in the Double Layers of SiO₂/Si₃N₄

洪能杓 ,  洪眞雄

전기학회논문지 C

2003 .10

SiO₂/Si₃N₄ 2중층 박막의 유전특성

고길영 ,  김균식 ,  홍능표 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2003 .07

Japan's PVD utilization and development during the last four decades with special focus on the intrinsic problem concerning PVD

Hisao Aboshi ,  Toshiyuki Inoue

한국지반신소재학회 학술발표회

2003 .04

Si-SiO₂系의 問題点과 研究動向

成英權

전기의세계

1985 .06

영향인자를 고려한 PVD의 압밀도 산정에 관한 연구

이송 ,  이광열 ,  최우진 외 1명

대한토목학회논문집 C

2001 .11

PVD법을 이용한 칼라코팅 기술

이건환 ,  이성훈 ,  박상언 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

DIRECT WAFER BONDING BETWEEN InP WAFER AND $Si_3N_4/InP$

Kim ,  Sun-Woon ,  Shin 외 5명

한국재료학회 학술발표대회

1998 .01

InP / InP , InCaAs / InP의 OMVPE 성장 및 도우핑 특성 ( OMVPE Growths of InP / InP , InGaAs / InP and Doping Characteristics )

박기성 ,  오대곤 ,  주무정 외 1명

한국통신학회 학술대회논문집

1988 .01

InP / InP , InCaAs / InP 의 OMVPE 성장 및 도우핑 특성 ( OMVPE Growths of InP / InP , InGaAs / InP and Doping Characteristics )

박기성 ,  오대곤 ,  주무정 외 1명

특정연구 결과 발표회 논문집

1988 .01

p-InP의 저항성 합금 접촉 특성 연구 ( The Properties of Alloyed Ohmic Contact to p-InP )

이중기 ,  박경현 ,  한정희 외 1명

전자공학회논문지

1990 .04

Effects of CH₂F₂ and H₂ flow rates on process window for infinite etch selectivity of silicon nitride to PVD a-C in dual-frequency capacitively coupled plasmas

김진성 ,  권봉수 ,  박영록 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2009 .05

PVD 코팅의 금형에의 적용

김종성

한국소성가공학회 학술대회 논문집

2002 .10

PVD법에 의한 신내식성 금속막의 제작

이명훈 ,  배일용 ,  김기준 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2004 .11