전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각 연구 ( A Study on the Submicron Etching With Electron-Beam Writing )

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

전자빔 묘화를 이용한 초미세 패턴 식각연구

김명제 ,  황기웅

대한전자공학회 학술대회

1990 .11

리소그라피 모의실험을 위한 전자빔용 감광막의 현상 변수 측정과 프로파일 분석 ( Development parameter measurement and profile analysis of electron beam resist for lithography simulation )

함영목 ,  이창범 ,  서태원 외 2명

전자공학회논문지-A

1996 .07

Optical Resist Process Technology for Deep-Submicron Patterning

문승찬 ,  복철규 ,  김진섭 외 3명

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

Sub-0.1mm Patterning Characteristics of Inorganic Resists by Focused-Ion-Beam Lithography

Seung Woo Paek ,  Soo Ho Pa ,  k 외 2명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Ion Beam Lithography for Submicron Structure Fabrication

백홍렬

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

Electron Beam Lithography에서의 Cell Projection Mask를 이용한 Patterning

김영식 ,  허철 ,  김철균 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Simulation and Edge Profiles of Chemically Amplified Resists with Highly Contrast in the Deep Submicron Range by using the Electron Beam lithography

Young Mog Ham ,  Chang Buhm Lee ,  Soo Hwan Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

단층 RESIST의 미세패턴 형성 기술 ( Submicron Technology of Single Layer Photo-Resist )

배경성 ,  홍승각

대한전자공학회 학술대회

1988 .07

스테퍼와의 혼합 묘화를 위한 전자 빔 직접 묘화 기술에 관한 연구 ( A Study of the Electron-beam Direct Writing Technique for Mix-and-Match with Stepper )

이상보 ,  유상기 ,  김여환 외 2명

전자공학회논문지-A

1992 .05

S-100기반 차세대 전자해도 뷰어 개발 연구

강동우 ,  오세웅 ,  정중식

한국지능시스템학회 학술발표 논문집

2016 .04

Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography

이해원 ,  이석규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .10

전자빔을 이용한 미세형상 패턴성형용 S/W의 개발

강재훈 ,  송준엽 ,  이승우 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2004 .05

나노사출성형용 스탬퍼 제작을 위한 Electron beam lithography 패터닝 연구

엄상진 ,  서영호 ,  유영은 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2005 .10

전자빔 가공을 위한 전자빔 광학 해석에 관한 연구

이응기

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2008 .03

Resist 표면 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구

김학 ,  한창호 ,  이기용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

두꺼운 감광막의 노광 파장에 따른 측면 기울기에 관한 연구

한창호 ,  김학 ,  전국진

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

Application of New Empirical Model to the Electron Beam Lithography Process with Chemically Amplified Resists

Young Mog Ham ,  Cheol Hu ,  Chang Nam Ahn 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Direct Patterning of Self Assembled Nano-Structures of Block Copolymers via Electron Beam Lithography

Bo Kyung Yoon ,  Won Seok Hwang ,  Youn Jung Pa 외 5명

Macromolecular Research

2005 .10