Resist 표면 거칠기 예측을 위한 전자빔 리소그라피 시뮬레이션에 관한 연구

김학 ,  한창호 ,  이기용 외 2명

대한전자공학회 학술대회

2002 .06

삼층감광막구조를 이용한 미세패턴의 전자빔 묘화 ( Submicron Patterning in Electron Beam Lithography using Trilayer Resist )

배용철 ,  서태원 ,  전국진

전자공학회논문지-A

1994 .10

저에너지 전자빔 리소그라피 공정용 소형 전자빔 칼럼 개발

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .10

저에너지 전자빔 리소그라피의 Contrast 특성 분석

김진석 ,  김한수 ,  이동윤 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2012 .05

A New Simulation Model of Electron Beam Lithography for Manufacturing

함영목 ,  이원규 ,  김수환 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1998 .01

Novel Chemically Amplified Resists for Electron Beam Lithography

이해원 ,  이석규

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

1992 .10

집속이온빔 리소그라피(Focused Ion Beam Lithography)의 노출 및 현상에 대한 몬테칼로 전산 모사

이현용 ,  김민수 ,  정홍배

대한전기학회 학술대회 논문집

1994 .07

전자빔 리토그래피에서 몬테카를로와 현상시뮬레이션을 이용한 3차원 리지스트프로파일 시뮬레이션 ( 3-D Resist Profile Simulation using monte-Carlo & Develop Simulation on E-beam Lithography )

서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

Current Status and Future of Electron Beam Lithography

백기호 ,  김영식

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

Application of New Empirical Model to the Electron Beam Lithography Process with Chemically Amplified Resists

Young Mog Ham ,  Cheol Hu ,  Chang Nam Ahn 외 4명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

두꺼운 감광막의 노광 파장에 따른 측면 기울기에 관한 연구

한창호 ,  김학 ,  전국진

한국반도체및디스플레이장비학회 학술대회

2003 .01

전자빔 리토그라피에서 스트링모델을 이용한 3차원 리지스트 프로파일 시뮬레이션 ( 3-D Resist Profile Simulation using String Model on E-beam Lithography )

서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 1명

전자공학회논문지-A

1996 .06

Simulation and Edge Profiles of Chemically Amplified Resists with Highly Contrast in the Deep Submicron Range by using the Electron Beam lithography

Young Mog Ham ,  Chang Buhm Lee ,  Soo Hwan Kim 외 1명

대한전자공학회 학술대회

1997 .01

E-Beam Lithography 기술

손상희 ,  곽계달

전자공학회잡지

1984 .10

전자빔 리토그리피에서 몬테카를로와 현상시뮬레이션을 이용한 3차원 리지스트 프로파일 시뮬레이션

서태원 ,  함영목 ,  전국진 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1994 .11

전자빔 가공장비용 소형 전자빔칼럼개발

강은구 ,  김진석 ,  김한수 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2011 .06

SAL 603 Resist를 사용한 변형 가우시안 전자빔 리소그라피 공정

최상수 ,  전영진

대한전자공학회 워크샵

1991 .01

리소그라피의 최신기술동향

안진호

한국반도체장비학회지

2002 .01

E-beam Lithography ( Equipment )

박선우

대한전자공학회 워크샵

1989 .01

New Approach of Monte Carlo Simulation for Low Energy Electron Beam Lithography

Soo Hwan Kim ,  Young Mog Ham ,  Won Gyu Lee 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1997 .01