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Silicon Pressure Sensor
대한전자공학회 학술대회
1997 .01
집적화된 실리콘 압력센서의 제작 ( Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor )
전자공학회논문지-A
1993 .06
Silicon RF Integrated Circuit Design Technique
대한전자공학회 ISOCC
2005 .10
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
집적화된 실리콘 압력센서용 온도 보상 회로의 설계 ( Design of Temperature Compensation Circuit for Integrated Silicon Pressure Sensor )
대한전자공학회 학술대회
1985 .01
고압용 압력센서의 제작과 그 특성
대한전기학회 학술대회 논문집
2001 .07
Implementation of an Integrated Pressure-sensor System Adapted to the Optimum Sensitivity
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2017 .04
OPTIMAL STRUCTURE OF A CAPACITIVE SILICON MICRO PRESSURE SENSOR
한국소음진동공학회 국제학술발표논문집
1994 .01
실리콘 압력센서를 이용한 압력 모니터링 시스템 개발
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
Fabrication of High Performance Pressure Sensor Using SOI Technology
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1991 .01
Pt/HfSixOy/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
고온용 실리콘 압력센서 개발
센서학회지
2004 .01
The morphological evolution of silicon induced by temperature base on phase field model by multi-physics approach
대한기계학회 춘추학술대회
2013 .12
Fabrication of MEMS Pressure Sensor using Post-CMOS Processes
대한전자공학회 ISOCC
2012 .11
An Integrated Silicon PIN Diode for Low Cost Applications
JTC-CSCC : Joint Technical Conference on Circuits Systems, Computers and Communications
1993 .01
Integrated Magnetic Sensors : An Overview
전자공학회잡지
1986 .02
고온에서 선형성을 가지는 폴리실리콘 압력센서의 제작
전기학회논문지
1996 .09
실리콘 나노와이어를 이용한 고감도 압력센서의 제작
대한전자공학회 학술대회
2010 .06
유속 감지를 위한 실리콘 유량센서의 설계 및 제작 ( Design and Fabrication of Silicon Flow Sensor For Detecting Air Flow )
전자공학회논문지-A
1994 .05
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