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Design and Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor
KITE JOURNAL OF ELECTRONICS ENGINEERING
1992 .01
OPTIMAL STRUCTURE OF A CAPACITIVE SILICON MICRO PRESSURE SENSOR
한국소음진동공학회 국제학술발표논문집
1994 .01
실리콘 압력센서를 이용한 압력 모니터링 시스템 개발
반도체디스플레이기술학회지
2018 .01
Pt/HfSixOy/Silicon 구조의 전기적 특성에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2002 .11
고온용 실리콘 압력센서 개발
센서학회지
2004 .01
Implementation of an Integrated Pressure-sensor System Adapted to the Optimum Sensitivity
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2017 .04
비침습적 맥파 측정을 위한 압력센서 패키징에 관한 연구
대한전기학회 학술대회 논문집
2009 .07
Silicon On Nothing 공정을 이용한 MEMS 절대압 압력센서 Modeling
대한전자공학회 학술대회
2015 .06
건식식각 기술 이용한 실리콘 압력센서의 특성
센서학회지
2010 .01
An Integrated Sensor for Pressure, Temperature, and Relative Humidity Based on MEMS Technology
Journal of Mechanical Science and Technology
2006 .04
SDB 구조의 고온용 실리콘 압력센서
전자공학회논문지
2013 .06
병렬구조의 압력측정 시스템 개발
전기전자재료학회논문지
2006 .01
Silicon Micromachined Vacuum Encapsulated Resonant Pressure Sensors
International Conference on Electronics, Informations and Communications
1998 .01
집적화된 실리콘 압력센서의 제작 ( Fabrication of Integrated Silicon Pressure Sensor )
전자공학회논문지-A
1993 .06
Silicon / Poly-silicon 기판상에서 Microstrip Line 특성 ( Properties of Microstrip Line on Silicon / Poly-silicon Substrata )
대한전자공학회 학술대회
1993 .10
Effects of the Base Pressure on the Structure and Electrical Properties of Poly Silicon Films
대한전자공학회 학술대회
1996 .01
확산저항을 이용한 실리콘 압력센서 ( Silicon Pressure Sensors Using Diffused Resistors )
전자공학회논문지
1986 .05
사출금형 버 발생 방지를 위한 형합면압 측정에 관한 연구
소성·가공
2011 .02
Theoretical Study of Flow and Heat Transfer around Silicon Bridge in a Flow Sensor
KSME/JSME THERMAL and FLUID Engineering Conference
1994 .07
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