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이용수
2003
Abstract
1. 서론
2. 고정입자패드
3. 고정입자패드의 텅스텐 CMP
4. 결론
참고문헌
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2007 .01
마이크로 표면 구조물을 갖는 CMP 패드 제작 기술 개발
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2004 .05
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Tribology and Lubricants
2018 .06
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