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이용수
1. 서론
2. 실험장치 및 방법
3. 실험결과 및 고찰
4. 결론
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
질소 및 아르곤 이온빔이 TiN 박막의 배향성에 미치는 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
이온빔보조증착에 의한 TiN 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
이온빔을 이용한 TiN 박막 합성 및 내마모특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
Sputter 증착된 TiN 코팅층의 밀착성에 질소이온의 주입및 이온질화 전처리 효과연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
아크로 증착된 TiN 박막의 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
DC magnetron sputtering에 의한 TiN박막의 형성조건에 따른 물성과 전기적 특성에 관한연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2005 .02
스퍼터링 증착변수에 따른 SKD 61강 기판상 TiN 박막의 증착거동 변화
Applied Science and Convergence Technology
1998 .11
산업용 기능성 박막 공정을 위한 이온빔 소스 기술
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .08
이온 보조 증착에서 산소 이온 빔 에너지가 주석 산화물 박막형성에 주는 영향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Synthesis and Evaluation of a Novel Film TiN-WC/TiN
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
Plastic film의 투명 보호막 적용을 위한 PECVD법으로 제작된 SiOx 박막연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
TiN 박막제조를 위한 PECVD 공정의 해석적 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
고온에서 Sputtering한 TiN 박막의 증착조건에 따른 특성변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .02
Ion Beam Assisted Deposition법에 의한 TiN박막 제작 및 특성연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
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