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200℃에서 PECVD로 증착한 실리콘질화막의 특징
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
PECVD법에 의한 비정질 실리콘 질화막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1994 .02
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
SiH₂Cl₂와 NH₃를 이용하여 원자층 증착법으로 형성된 실리콘 질화막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Effects of chemical bondings on hydrogen passivation properties of PECVD SiNx in silicon solar cells
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .02
이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
발광 실리콘의 제작과 특성 측정
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
실리콘을 이용한 몰드만들기
베이커리
2000 .01
마이크로 구동 요소부품의 PECVD를 이용한 플라즈마 질화 공정의 기계적특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .02
오스테나이트계 스테인레스강의 플라즈마 질화공정에 의한 내식성 평가에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
실리콘 나노 결정이 포함된 실리콘 질화물 박막의 광반응성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Penning 방전을 이용한 실리콘 CVD
Applied Science and Convergence Technology
1996 .03
실리콘 기반 물질의 광 방출 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
대청호에서의 질화작용에 관하여
한국동물학회 학술대회
1994 .01
효율적인 무반사 특성을 갖는 주기적인 실리콘 계층 나노구조 제작 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
고에너지 이중이온주입(3 MeV P+ + 3 MeV C+) 한 실리콘의 결함거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
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