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이온빔 주입에 의한 실리콘 산화막 내의 실리콘 나노결정 형성 및 PL특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
실리콘 나노결정의 크기와 밀도에 따른 비휘발성 실리콘 나노결정 메모리 소자의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 옥사이드와 실리콘 나이트라이드 다층 박막에서의 실리콘 나노 클러스터와 어븀의 상호작용 거리에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
실리콘 산화물 및 질화물 증착을 위한 신규 실리콘 증착소재의 실시간 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
다결정 실리콘내 중수소 결합 형성 방법에 따른 다결정 실리콘의 광반응 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2015 .02
CAT-CVD를 이용한 실리콘 기반의 나노 결정 박막 형성 및 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
실리콘 박막의 고온고상 결정화
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
실리콘 박막을 이용한 가속도센서 제조기술
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .02
비정질 실리콘 박막의 초기성장 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
시뮬레이션을 통한 실리콘 나노선의 전기적 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
질소 플라즈마를 이용한 실리콘 질화막의 제작 및 실리콘 질화막과 실리콘구조의 계면분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
실리콘 나노점을 이용한 전계방출 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
유도결합플라즈마를 이용한 실리콘 나노입자 박막 물성변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2014 .02
실리콘 박막 증착을 위한 열필라멘트 화학 기상 증착 공정 중 발생하는 나노입자 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
비정질 실리콘 박막에서 결정상 실리콘의 입자성장에 관한 고분해능 투과전자현미경에 의한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1993 .07
실리콘 박막 태양전지 고 효율화 기술 동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
CeO₂(111) / Si(111)위에 성장된 실리콘 박막 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
Cluster tool system을 이용한 비정질 / 나노결정 실리콘 하이브리드 박막 태양전지 동작특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
결정화된 실리콘 막질에 미치는 고온 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
고효율화를 위한 박막 실리콘 태양전지의 최근 기술동향
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
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