Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막의 특성 연구

송석균; 최원국; 정형진; 고석근; 백홍구

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저자정보: 송석균 최원국 정형진 고석근 백홍구

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제8회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1995.2

수록면: 75 - 75 (1page)

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1996

산소 이온 빔에 의해 제조된 SnO₂-x 박막 센서의 가연성 가스(CH₄, C₃H8, H₂)의 감응성 특성 연구

송석균 , 최원국 , 석진우 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1996.02 학술대회자료

1995

Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막에 Dopant Pd에 의한 가연성 가스의 감응성 특성 연구

송석균 , 최원국 , 정형진 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.06 학술대회자료

Hybrid Ion Beam Deposition에 의해 제조된 SnO₂-x 박막의 특성 연구

송석균 , 최원국 , 정형진 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 1995.02 학술대회자료

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송석균

소속기관 철원플라즈마산업기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 25 이용수 795

Won Kook Choi

소속기관 한국과학기술연구원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 90 이용수 2,103

정형진

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 80 이용수 655

고석근

소속기관 GL Materials

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 화학공학 > 고분자공학

논문수 107 이용수 1,206

백홍구

소속기관 한국진공학회

주요연구분야 자연과학 > 물리학

논문수 25 이용수 459

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