TiN박막형성에 미치는 ion beam조사효과

안정식; 조남제; 장문식; 조성진; 김상옥; 이규용

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저자정보: 안정식 조남제 장문식 조성진 김상옥 이규용

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제14회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1998.2

수록면: 38 - 38 (1page)

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