RuO₂ 박막의 제조와 물성

서동주 ,  이재연 ,  김건호

Applied Science and Convergence Technology

1994 .12

Dielectric Characteristics of Al₂O₃ Thin Films Deposited by Reactive Sputtering

Jae Hoon Choi ,  Joo Dong Pa ,  k 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Surface Analysis of RuO₂

Cha Yeon Kim ,  Tae Hyeong Kim ,  Jong Wan Lee 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Formation and stability of a ruthenium - oxide thin film made of the O₂/ Ar gas - mixture sputtering

Moonsup Han ,  Min-Che ,  l Jung 외 2명

Journal of Korean Vacuum Science & Technology

2001 .12

RF - magnetron sputtering 방법으로 형성된 RuO₂ 박막의 전기적 특성 분석

도승우 ,  장철영 ,  이용현

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

A study of sputter XPS depth profiling of Ta₂O5 / Si without preferential sputtering problems.

김경중 ,  문대원

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Properties of Boron Carbide Thin Films Deposited by Partially Reactive Magnetron Sputtering

K. E. Lee ,  C. O. Kim ,  J. H. Kim 외 4명

한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집

2002 .12

Characterization of Deposited PZT Thin Film by RF Magnetron Co-sputtering on Si(100) at various O₂ gas ratio

Sujin Choi ,  Juyun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

RuO₂ 박막의 성장과 어닐링 조건에 따른 특성

조굉래 ,  임원택 ,  이창효

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08

Applications of Ar Gas Cluster Ion Beam Sputtering to Ta₂O₅ thin films on SiO₂/Si (100)

Chanae Pa ,  k ,  HongChol Chae 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Analysis of corrosion on the Al(Cu 1%) surface using XPS

Sang-Gi Kim ,  Kyu-Ha Baek ,  Kwang-Ho Kwon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Deposition and XPS Study of Pb, Zr, and Ti Films

Choi ,  Sujin ,  Pa 외 19명

조선자연과학논문집

2014 .01

Optical Studies on TiNx Films Deposited on Si by Reactive dc Magnetron Sputtering

Jl Hoon Kang ,  Jae Ho Bahng ,  Myoung Hee Lee 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .07

Microstructures, electrical and optical properties of NiO films deposited by reactive magnetron sputtering at various oxygen working pressures

S. C. CHEN ,  C. F. LU ,  M. H. LIN 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

A study on the optical and electrical properties of nickel oxide thin films deposited by reactive magnetron sputtering process

Seong woo Jang ,  Sehoon Hwang ,  Sang-Ho Lim 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Antibacterial property and characterization of CuSn thin films deposited by RF magnetron co-sputtering method

강유진 ,  박주연 ,  김동우 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

XPS study on Pb(Zr,Ti)0₃ thin films prepared by sputtering and MOCVD method

추정우 ,  김영관 ,  손병청

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Epitaxial growth of Tin Oxide thin films deposited by powder sputtering method

백은하 ,  김소진 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .08

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Characterization of In₂O₃ Films by AES and XPS

정재인 ,  문종호 ,  홍재화 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07