Depth profile 측정 시에 영향을 주는 Sputtering rate에 관한 연구

김주광 ,  성인복 ,  강석태

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

Preferential Sputtering of Various Tungsten Silicides Studied by XPS

Y. Pa ,  k ,  I. Y. Hwang 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

Depth Profiling에서 Sputtering Rate의 영향

김주광 ,  성인복 ,  김태준 외 2명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

Ion Beam Induced Processes in Sputtering of Ta₂O5 / Si Interfaces.

문대원 ,  김경중 ,  김상열

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .02

The transient sputtering yield change of an amorphous Si layer by low energy O₂+ and Ar+ ion bombardment

Hye Chung Shin ,  Hee Jae Kang ,  Hyung Ik Lee 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .10

Characterization of SrBi₂Ta₂O9 thin films prepared by sputtering method by using AFM and XPS

추정우 ,  박주상 ,  김영관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Magnetron Sputtering Technology의 연구 및 개발 방향에 대한 동향

박장식

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Diagnostics of Magnetron Sputtering Plasmas : Distributions of Density and Velocity of Sputtered Metal Atoms

Koichi Sasaki

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

Characterization of Deposited PZT Thin Film by RF Magnetron Co-sputtering on Si(100) at various O₂ gas ratio

Sujin Choi ,  Juyun Pa ,  k 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .08

TOF-SIMS Depth profile의 Sputtering rate를 통한 재질 연구

홍주익 ,  김지수 ,  이석열 외 2명

한국분석과학회 학술대회

2008 .11

Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성

이원정 ,  안경준 ,  여환욱 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Investigation of copper-zinc thin film obtained by RF co-sputtering method

최아롬 ,  박주연 ,  강유진 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Sputtering 공정 중 발생 된 in-film defect 분석 방법

정현재 ,  이선영 ,  김형우 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .02

Growth and Chracterization of Ta₂05 Thin Films on Si by Ion Beam Sputter Deposition

K. S. Pa ,  k ,  D. Y. Lee 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

XPS study of RuO₂ films deposited by reactive sputtering

김태형 ,  이종완 ,  김동천 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

ICP가 sputtered poly - Si thin film에 미치는 영향

주정훈 ,  박원규

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

고균일 Al 박막 증착을 위한 magnetron sputtering system 개발

이재희 ,  황도원

Applied Science and Convergence Technology

2008 .03

고 농도 대역에 Pre-Sputtering 방법 적용을 통한 High Dynamic Range SIMS Depth Profiling 구현

박상원 ,  김종훈 ,  고중규 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구

김주현 ,  강현철

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발

김경중 ,  문대원

Applied Science and Convergence Technology

1999 .08