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실리콘 산화막 건식각시 발생되는 반응 부산물에 의한 오염
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .02
Shallow trench 식각 공정시 발생하는 격자결함 관찰 및 제거동향 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
결정화된 실리콘 막질에 미치는 고온 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
고밀도 플라즈마 식각 공정시 형성된 실리콘 표면의 오염 및 손상 제거에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
고에너지 이중이온주입(3 MeV P+ + 3 MeV C+) 한 실리콘의 결함거동
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
자화된 유도결합형 플라즈마 식각공정시 형성된 실리콘표면의 오염 및 손상에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .06
자성 메모리를 위한 나노미터 크기의 자기터널접합 구조의 고밀도 플라즈마 식각
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2005 .12
플라즈마트론에 의한 실리콘의 texturing 식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
Multi-segment antenna를 이용한 실리콘 산화막의 식각 모델링
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
증발증착법에 의해 형성된 금속 입자를 이용한 단결정 실리콘의 습식식각
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
펄스 플라즈마 식각을 통한 실리콘 나노구조의 식각 특성 향상
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .08
C4F8/Ar 플라즈마를 이용한 SiO2 원자층 식각에서 활성종 구성 비율에 따른 식각 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
플라즈마 이온 식각 공정을 이용한 피라미드 구조의 결정질 실리콘 태양전지 텍스쳐링
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
발광 분광 분석법 및 잔류가스 분석기를 이용한 NF₃ 플라즈마 반응성 이온 식각 장치의 실리콘 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .08
TMAH를 이용한 단결성 실리콘의 식각특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
SiO₂ 식각을 위한 low angle forward reflected neutral beam 식각 system에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
반응성 이온 식각 공정을 활용한 다결정 실리콘 태양전지의 표면 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2020 .02
자화된 평판형 유도결합 SF6 플라즈마를 이용한 게이트 폴리실리콘 극저온 건식 식각 특성의 연구
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
NF3 플라즈마 식각 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
Single Electron Transistor 제작용 실리콘박막의 열처리 효과
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
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