Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Chemical and Electrical Properties of Polyimide Thin Flim Fabricated by Ionized Cluster Beam

Y.S.Lee ,  K.W.Kim ,  S.C.Choi 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

XPS를 이용한 Cu / Polyimide 계면에 관한 연구 : 상온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(I)

이연승 ,  황정남

Applied Science and Convergence Technology

1997 .08

XPS를 이용한 Cu / Polyimide의 계면에 관한 연구 : 고온에서 증착한 Cu의 초기성장과정(Ⅱ)

이연승 ,  황정남

Applied Science and Convergence Technology

1998 .05

Chemical and Crystalline Properties of Polyimide Film Deposited by Ionized Cluster Beam

김기원 ,  최성창 ,  김성수 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

1992 .02

Adhesion Enhancement of Cu Films on Polyimide Using Ion Beam Processing

Won-Kook Choi ,  Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gyu Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Interface Characteristics of Ion Beam Mixed Cu / Polyimide System

C.N. Whang

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Ionized Cluster Beam 증착방법을 이용한 Indium - Tin - Oxide(ITO) 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

최성창 ,  황보상우 ,  조만호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .03

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Controls of Crystallinity and Surface Roughness of Cu film in Partially Ionized Beam Deposition

Ki-hwan Kim. Seok-Keun Koh ,  Won-Kook Choi ,  Young-Soo Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

XPS를 이용한 Cu / Polyimide 와 Cu / TiN 계에 대한 연구

이연승

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Cu / Polyimide 계면에 고온이 미치는 영향

임관용 ,  이경민 ,  정용덕 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas Sensor by Reactive Ionized Cluster Beam(R - ICB)

Won-Kook Choi ,  Seok-Kyun Song ,  Hyung-Jin Jung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Growth of epitaxial Al203 films on silicon by ionized beam deposition

Y. K. Choi ,  S. W. Whangbo ,  K. B. Chung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Cu film growth on Si substrate by combining plasma enhanced chemical vapor deposition with partially ionized beam deposition

K. H. Kim ,  S. C. Choi ,  D. J. Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07