Deposition of Cu thin films on glass substrate by Ionized Cluster Beam deposition for laser mirror at room temperature

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 7명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Cu films on Polyimide deposited by an Ionized Cluster Beam

Won-Kook Choi ,  Ki-Hwan Kim ,  Hyung-Jin Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Cu film growth on Si substrate by combining plasma enhanced chemical vapor deposition with partially ionized beam deposition

K. H. Kim ,  S. C. Choi ,  D. J. Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Controls of Crystallinity and Surface Roughness of Cu film in Partially Ionized Beam Deposition

Ki-hwan Kim. Seok-Keun Koh ,  Won-Kook Choi ,  Young-Soo Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Growth of epitaxial Al203 films on silicon by ionized beam deposition

Y. K. Choi ,  S. W. Whangbo ,  K. B. Chung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas Sensor by Reactive Ionized Cluster Beam(R - ICB)

Won-Kook Choi ,  Seok-Kyun Song ,  Hyung-Jin Jung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Cu films by partially ionized beam deposition for furture ULSI metallization

Ki-Hwan Kim ,  Doo-Jin Choi ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Ionized Cluster Beam 증착방법을 이용한 Indium - Tin - Oxide(ITO) 박막의 제작과 그 특성에 관한 연구

최성창 ,  황보상우 ,  조만호 외 5명

Applied Science and Convergence Technology

1996 .03

Construction and Investigation of Metal Ion Source for Partially Ionized Beam deposition

H. G. Jang ,  W. K. Choi ,  S. G. Kond 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

이온 클러스터빔에의한 구리박막제작

Won-Kook Choi ,  Ki-Han Kim ,  Young-Soo Yoon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Properties of Copper Film on Si(100) and Si(111) Substrate by Ionized Cluster Beam Deposition (ICBD)

Sung Han ,  Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Electrical property of Copper Film by PIBD(Partially Ionized Beam Deposition)

Sung Han ,  Ki Hyun Yoon ,  Ki-Hwan Kim 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

초고진공 이온 분자선 증착장치(Ultra High Vacuum - Ionized Cluster Beam Deposition system)의 제작

조성진 ,  김기원 ,  최성창 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1993 .07

ICB (Ionized Cluster Beam) 방법으로 제작된 Glass 기판위의 구리 박막의 특성

윤영수 ,  이지연 ,  최원국 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02