Structural property of Cu thin films grown by Ionized cluster beam deposition

Y. S. Yoon ,  K. H. Kim ,  H. J. Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Deposition of Cu films on Si substrate by Partially Ionized Beam deposition and Ion beam sputtering

Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Substrate temperature dependence of crystalline Y₂O₃ films grown by Ionized Cluster Beam Deposition

M.H.Cho ,  S.W.Whangbo ,  J.G.Seo 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Cu film growth on Si substrate by combining plasma enhanced chemical vapor deposition with partially ionized beam deposition

K. H. Kim ,  S. C. Choi ,  D. J. Choi 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

Ionized Cluster Beam Deposition 방법을 이용한 Polyimide 박막의 제작 및 특성

김기원 ,  최성창 ,  노효상 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Acceleration energy dependence of epitaxial Y₂O₃ film grown by ionized cluster beam deposition

M. H. Cho ,  Y. G. Choi ,  S. W. Whangbo 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .02

Cu films on Polyimide deposited by an Ionized Cluster Beam

Won-Kook Choi ,  Ki-Hwan Kim ,  Hyung-Jin Jung 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Controls of Crystallinity and Surface Roughness of Cu film in Partially Ionized Beam Deposition

Ki-hwan Kim. Seok-Keun Koh ,  Won-Kook Choi ,  Young-Soo Yoon 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .06

Growth of epitaxial Al203 films on silicon by ionized beam deposition

Y. K. Choi ,  S. W. Whangbo ,  K. B. Chung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2001 .02

Properties of Copper Film on Si(100) and Si(111) Substrate by Ionized Cluster Beam Deposition (ICBD)

Sung Han ,  Ki-Hwan Kim ,  Hong-Gui Jang 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Construction and Investigation of Metal Ion Source for Partially Ionized Beam deposition

H. G. Jang ,  W. K. Choi ,  S. G. Kond 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Tin Oxide Thin Film Deposition for Gas Sensor by Reactive Ionized Cluster Beam(R - ICB)

Won-Kook Choi ,  Seok-Kyun Song ,  Hyung-Jin Jung 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Deposition and Characterization of $Al_2O_3$ Thin Film by Aerosol Deposition

Cho ,  Hyun-Min ,  Kim 외 1명

한국결정학회 학술연구발표회

2007 .01

ICB (Ionized Cluster Beam) 방법으로 제작된 Glass 기판위의 구리 박막의 특성

윤영수 ,  이지연 ,  최원국 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Cu films by partially ionized beam deposition for furture ULSI metallization

Ki-Hwan Kim ,  Doo-Jin Choi ,  Sung Han 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

이온 클러스터빔에의한 구리박막제작

Won-Kook Choi ,  Ki-Han Kim ,  Young-Soo Yoon 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

An Analysis of the Defects on ZnO and Zn_0.95Mn_0.05O Thin Film Grown by Pulsed Laser Deposition

Jae-Hoon Kim ,  Hooyoung Song ,  Eun Kyu Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .08

ICBD(Ionized Cluster Beam Deposition) 방법에 의한 Patterned Si 기판위 Cu박막의 Step coverage와 평탄화 기술 연구

백민 ,  김경현 ,  최규석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .07

2005년 우리나라 습성강하물의 특성과 분포

한진석 ,  이상덕 ,  홍유덕 외 3명

한국대기환경학회지(국문)

2006 .08

Room Temperature Deposition of ZrO₂ thin film by using UV - enhanced Atomic Layer Deposition

강문철 ,  성명모

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .02