: LPCVD 실리콘 박막의 저온 열처리에 따른 결정화 거동에 관한 연구

김철수 ,  한정인 ,  김원근 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

LPCVD 공정시간에 따른 silicon 의 결정화 특성 연구

최광남 ,  김성기 ,  곽성관 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .08

LPCVD를 이용한 Poly-Si박막 증착 및 박막 트랜지스터 분석

장경수 ,  정성욱 ,  이준신

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .02

비정질 Si박막의 고상결정화 연구

김보경 ,  임정윤 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성

박영진 ,  김종철

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon Films at High Temperatures

김윤수 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

공정변수와 후속 열처리가 저압화학증착 다결정 실리콘 박막의 특성에 미치는 영향

황완식 ,  최승진 ,  이인규

Applied Science and Convergence Technology

2002 .12

Si+이온주입에 의한 비정질씰리콘의 고상 Epitaxy에 관한 연구

오재근 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1995 .02

Solid Phase Crystallization of Amorphous Silicon at High Temperatures

Sung-Jae Oh ,  Won-Eui Hong ,  Jae-Sang Ro

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Fabrication of nc-Si/SiO₂ Multi-Layer Structure by using LPCVD

Soonjae Jung ,  Eunkyeom Kim ,  Chan Pa 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

PECVD로 증착된 a - Si 박막의 고상결정화에 있어서 기판 온도 및 수소희석의 효과

이정근

Applied Science and Convergence Technology

1998 .02

Si nano dots growth using pulse-type gas feeding with Si₂H₆ in LPCVD

Chan Pa ,  k ,  Soonjae Jung 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

2005 .08

Microstructure and Electrical Properties of LPCVD Polysilicon

이은구 ,  노재성 ,  정호영 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .02

마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착

김성훈 ,  송세안 ,  김성근

Applied Science and Convergence Technology

1992 .06

LPCVD 다결정 실리콘 박막의 SSIC (seed selection through ion channeling)공정에 관한 연구

황의훈 ,  정세진 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06

Investigation on solid-phase crystallization of amorphous silicon films

김현호 ,  지광선 ,  배수현 외 6명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .02

박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화

김병동 ,  정인영 ,  송남규 외 1명

Applied Science and Convergence Technology

2003 .09

실리콘 박막의 고온고상 결정화

김윤수 ,  임정윤 ,  노재상

한국진공학회 학술발표회초록집

2009 .02

LPCVD 조건하에서 SiH₄에 의한 WF6환원반응으로부터의 텅스텐 박막 증착 메커니즘에 관한 연구

김성훈 ,  윤완수 ,  양성익 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07