Microstructure and Electrical Properties of LPCVD Polysilicon

이은구; 노재성; 정호영; 라사균; 김우식

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 이은구 노재성 정호영 라사균 김우식

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제2회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1992.2

수록면: 106 - 106 (1page)

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