반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성

박영진; 김종철

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 박영진 김종철

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제2회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1992.2

수록면: 102 - 102 (1page)

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1992

반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성

박영진 , 김종철 한국진공학회 학술발표회초록집 1992.02 학술대회자료

1991

반구형 LPCVD 다결정 실리콘 박막의 구조 및 특성

박영진 , 전하응 , 이승석 외 6명 한국재료학회지 1991.01 학술저널

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