Optimization and Application of Si-DLC Coating with Low Friction and High Hardness Property by Using PECVD Method

여기호 ,  문종철 ,  신의철 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2013 .08

PECVD 방법을 이용한 DLC 박막의 증착

조영옥 ,  조정민 ,  윤원주 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .07

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 기계적 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .02

PECVD 장비를 이용해 증착시킨 DLC 박막의 첨가원소(a-C:H:X)에 따른 고내식, 내열 특성

김준형 ,  문경일 ,  박종완

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Ti-DLC 증착 방법에 따른 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

Low-Temperature Synthesis of Wafer Scale WS₂ by PECVD

Kanade Vinit ,  김형우 ,  박근상 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2019 .02

Effect of Doping Si in DLC Thin Films Growth on Their Mechanical Properties

김대영 ,  박민석 ,  진인태

한국진공학회 학술발표회초록집

2014 .02

Titanium 첨가 방법에 따른 DLC 특성 비교

이나래 ,  박현준 ,  문경일 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2015 .02

PECVD Synthesis of WS₂ for Hydrogen Evolution Catalysis

Kanade Vinit ,  Hyeong-U Kim ,  Seokjun Hong 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2020 .02

Electrical properties of HfO_xN_y thin films deposited by PECVD

J.-H. Pa ,  k ,  J.-S. Hyun 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2006 .02

The properties of diamond - like carbon(DLC) films prepared using ECR - PECVD and its dependence on deposition parameters

손영호 ,  박노길 ,  박형국 외 5명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Si 이온의 첨가가 DLC 박막의 기계적 특성에 미치는 영향

김대영 ,  박민석 ,  김왕렬 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2012 .08

Electron emission characteristics of DLC films

Young Kyu Hong ,  Ju-Jin Kim ,  Chan Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

Photoluminescence chracteristics of SiN_x thin film deposited by PECVD at low temperature

Kyungsu Lee ,  Eunkyeom Kim ,  Kyongmin Kim 외 9명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .02

ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

손영호 ,  정우철 ,  강종석 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

ORGANIC POLYMER THIN FILMS DEPOSITED ON SILICON AND COPPER BY PECVD METHOD AND CHARACTERIZATION OF THEIR ELECTROCHEMICAL AND OPTICAL PROPERTIES

I. S. Bae ,  S. H. Cho ,  Z. T. Pa 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2003 .08

PECVD로 증착한 Ta₂O5 박막의 전기적 특성 Electrical Characterization of Ta₂O5 Thin Films Deposited by PECVD.

김선우 ,  김형준

한국진공학회 학술발표회초록집

1992 .07

Study on Synthesis and Analysis of Organic-Inorganic Hybrid polymer Thin films by PECVD for Low-k materials

S.-J. Cho ,  I.-S. bae ,  J.-H. Boo

한국진공학회 학술발표회초록집

2007 .02

ECR - PECVD 방법으로 제작된 DLC 박막의 기판 Bias 전압 효과

손영호 ,  정우철 ,  정재인 외 4명

Applied Science and Convergence Technology

2000 .12