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RF 마그네트론 스파터링에서 스파터링 조건이 천이금속 박막의 증착속도에 미치는 영향
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
1991 .11
LPCVD에 의한 텅스텐 실리사이드 게이트 증착 및 RTP 열처리에 의한 특성 변화 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
텅스텐 폴리사이드 게이트 구조에서의 열처리 효과
Applied Science and Convergence Technology
1992 .10
TiSi gate 및 텅스텐 B / L spacer용 SiN 박막 증착 공정 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .02
증착조건 및 열처리조건에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .07
LPCVD로 성장된 텅스텐 게이트의 물리ㆍ전기적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
TiN 위에 텅스텐의 저압화학증착
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .02
Negative Metal Sputter (DC sputtering)를 이용하여 증착된 MgO 박막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
유기금속화합물을 이용한 원자층단위 증착에 의한 금속확산 방지층의 증착특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
Ion Beam Sputter 증착조건에 따른 구조적 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
DC magnetron sputtering을 이용하여 증착한 ZnO 기반의 박막 트랜지스터의 특성 및 stability 향상을 위한 후열처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
증착조건에 따른 ZrO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
증착방법에 따른 HfO₂ 게이트 유전막의 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2001 .02
RF Sputtering으로 증착한 In2O3:C 박막의 구조 전이 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
마이크로파 플라즈마 화학기상증착법(PECVD)과 저압 화학기상증착법(LPCVD)을 이용한 실리콘 기판 위에서의 텅스텐 박막증착
Applied Science and Convergence Technology
1992 .06
RF sputtering 법으로 증착한 Co ferrite 박막의 자기적 특성
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2002 .04
RF magnetron sputtering 방식을 이용하여 직접 증착된 HfO₂ flim의 열처리에 따른 구조 및 전기적 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
유기 EL 소자용 ITO 박막의 Sputtering법에 의한 증착
한국진공학회 학술발표회초록집
2006 .02
Modulated Sputtering System (MSS)을 이용한 박막 증착 및 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2013 .08
저온 증착된 게이트 절연막의 안정성 향상을 위한 플라즈마 처리
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .08
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