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액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
화학증착공정용 전구체의 분해도 평가 및 진단 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
액상 Cu(Ⅱ) 전구체의 개발 및 ALD 증착 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Polyimide 위에서의 Cu의 초기성장 메카니즘
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
CIGS 박막 반응메카니즘 및 생성공정의 이해
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
화학 증착 공정시 용기 내의 전구체 잔존량 진단방법 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
Low-temperature growth of wafer-scale MoS2 by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
MOCVD 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
열처리에 의한 Bi 및 Te 전구체의 기상변화에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .08
MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1999 .07
운반기체와 Ligand의 첨가가 MOCVD Cu 증착에 미치는 영향에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .09
PE - MOCVD로 증착된 Hf(C,N)박막의 Cu에 대한 확산 방지 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
세포 노화의 분자메카니즘
한국동물학회 학술대회
1998 .01
Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
유기금속전구체를 이용하여 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 TaN과 TiN 박막의 물성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
Cu 배선 공정의 electroplating 공정을 위한 Cu 씨앗층의 원자층 증착 방법
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Preparation of Metallic Cu Thin Films by MOCVD Using Novel Organometallic Cu(II) Precursors
한국진공학회 학술발표회초록집
2003 .02
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