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Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 MFM 구조의 SrBi₂Ta₂O9 박막 특성에 관한 연구
Applied Science and Convergence Technology
2000 .05
스퍼터링 조건에 따른 Ta 피막의 배향성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .02
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조된 SrTiO₃ 박막의 계면 분석에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1992 .07
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CdS박막의 기판 온도와 열처리 온도 변화에 따른 구조적 및 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 미세구조 및 우선 배향성 변화
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
rf 마그네트론 스퍼터링법에 의한 ZnO / SiO₂ / Si박막의 증착 및 특성조사
한국진공학회 학술발표회초록집
1995 .06
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Ti 박막의 광학적 성질 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
RF-마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 다층구조의 마그네타이트 에피 박막성장의 최적화에 대한 연구
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 FeSu₂ 박막의 기판 온도에 따른 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
2018 .02
마그네트론 스퍼터링법에 의해 저온 증착된 ITO 및 IZO 박막에 대한 특성 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 ITO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
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