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DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
비대칭 마그네트론 스퍼터링방법을 이용한 초미세 탄소 박막 합성
한국진공학회 학술발표회초록집
2007 .08
DC 마그네트론 스퍼터링으로 제작한 Ti 박막의 광학적 성질 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
마그네트론 스퍼터링을 이용한 TiN 다층 박막의 제조 및 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
반응성 r.f. 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 ZnO 박막의 물성과 압전특성
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 ITO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
DC 마그네트론 스퍼터링 증착법을 이용한 산화 티타늄 박막의 표면 형태와 조성 제어에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2019 .08
DC 반응성 마그네트론 스퍼터링으로 증착한 TaN 박막의 특성 및 신뢰성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .08
r.f 마그네트론 스퍼터링에서의 BN film의 합성 인자에 대한 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 성장된 V₂O5 박막의 광학적 특성평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
듀얼 마그네트론 스퍼터링를 이용한 ITO 박막 특성 평가
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .02
Si 기판상에 DC 마그네트론 스퍼터링방식에 의한 Pt(200) 박막의 배향성장
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
그리드를 이용한 DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Unbalanced DC 마그네트론 스퍼터링 소스의 플라즈마 특성에 대한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .02
듀얼 펄스 마그네트론 스퍼터링 방법으로 합성된 Al doped ZnO 박막의 특성 고찰
한국진공학회 학술발표회초록집
2010 .02
비대칭 마그네트론 스퍼터링 장치에 의한 Ti 나노금속 함량에 따른 탄소박막의 물리적, 전기적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2012 .02
환상형타겟 마그네트론 스퍼터링 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
2009 .08
이온빔 - 보조 DC 반응이온 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 TiO₂ 박막의 광학적 특성
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .02
반응성 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법에 의한 AlN 압전박막 증착 및 특성에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .02
마그네트론 스퍼터링법에 의해 합성되어진 비정질 탄소박막들의 구조적, 물리적 특성
Applied Science and Convergence Technology
2007 .03
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