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학술대회자료
저자정보
진수봉 (성균관대학교) 김성일 (성균관대학교) 한전건 (성균관대학교)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제34회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2008.2
수록면
157 - 157 (1page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2008

DC 마그네트론 스퍼터링으로 플리머 기판에 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
진수봉 ,  김성일 ,  BaoSa 외 4명 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.08 학술대회자료
DC 마그네트론 스퍼터링으로 합성된 탄소 배리어 박막의 특성에 대한 고찰
진수봉 ,  김성일 ,  한전건 한국진공학회 학술발표회초록집 2008.02 학술대회자료

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