MOCVD 장치 개발

석창길

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Low-temperature growth of wafer-scale MoS₂ by MOCVD

Jihun MUN ,  Chegal WON ,  Jeong Won KIM 외 2명

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

MOCVD 공정으로 성장된 ZnO박막의 texture 제어 연구

강희민 ,  정증현 ,  최헌진 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2011 .02

측정 및 분석(장비개발)

이강웅

한국대기환경학회 학술대회논문집

2002 .10

MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조

박재영 ,  이동주 ,  윤영수 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2004 .08

Crystal structure control in pulsed-pressure MOCVD

Susan KRUMDIECK

한국진공학회 학술발표회초록집

2016 .08

SiO₂ 기판 위에서의 MOCVD TiN 반응성에 관한 조사

오상헌 ,  김지용 ,  이재갑 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

1997 .02

첨단과학 연구 장비 개발의 현황

조양구

한국결정학회 학술연구발표회

2004 .01

MOCVD of two-dimensional MoS₂

문지훈 ,  김태완 ,  제갈원 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2017 .08

LS - MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장

권현구 ,  오영우 ,  박정우 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2002 .06

세계 기상장비 개발 및 활용 현황

박소연 ,  김지영 ,  김백조 외 2명

한국기상학회 학술대회 논문집

2009 .04

Copper MOCVD using catalytic surfactant : Novel concept

Eui Seong Hwang ,  Jihwa Lee

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Effect of growth temperature on the properties of AlGaN grown by MOCVD

김동준 ,  문용태 ,  송근만 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

2000 .02

Structural study of a GaN layer grown on(001)GaAs by MOCVD

배인태 ,  성태연 ,  박용주 외 1명

한국진공학회 학술발표회초록집

1998 .02

Cobalt 박막의 선택적 증착을 위한 MOCVD공정 연구

서경천 ,  신재수 ,  윤주영 외 4명

한국진공학회 학술발표회초록집

2010 .08

MOCVD로 성장한 산화아연 박막의 Ⅵ/Ⅱ족 비율에 따른 구조적 특성 평가

최용석 ,  황대규 ,  오민석 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

2008 .08

MOCVD법에 의한 Ruthenium 박막의 증착 및 특성분석

강상열 ,  최국현 ,  이석규 외 3명

한국진공학회 학술발표회초록집

1999 .07

Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향

김경열 ,  황의성 ,  이지화

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .02

Optimization of GaN epitaxial growth by low - pressure MOCVD

Chang-Hee Hong ,  Yuen-Ho Choi ,  Bae-Young Kim

한국진공학회 학술발표회초록집

1996 .06