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Low-temperature growth of wafer-scale MoS2 by MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
MOCVD 장치 개발
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
급속열처리에 의한 MOCVD - Cu / TiN / Si 구조의 후열처리 특성
Applied Science and Convergence Technology
1997 .02
Tin Dioxide Thin Film Deposited by Ozone assisted MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .02
TiN 증착을 위한 MOCVD 공정 중 열분해에 따른 Precursor 진단 및 오염입자 발생에 관한 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2008 .08
Cu MOCVD에서 구리 박막 성장에 미치는 기판의 영향
한국진공학회 학술발표회초록집
1996 .02
Synthesis and Evaluation of a Novel Film TiN-WC/TiN
한국자기학회 학술연구발표회 논문개요집
2008 .12
W - TiN 복층 전극 소자에서 TiN 박막 형성 조건에 따른 특성 분석
Applied Science and Convergence Technology
2001 .07
MOCVD 공정으로 성장된 ZnO박막의 texture 제어 연구
한국진공학회 학술발표회초록집
2011 .02
InP(100) 기판 위에 MOCVD로 성장한 InAs Island의 Morphology 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
1997 .07
MBE와 MOCVD를 이용하여 LAO 기판위에 성장된 GaN의 특성비교
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
PVD 방법에 의한 TiN barrier metal 형성과 공정개발
Applied Science and Convergence Technology
1997 .08
MOCVD 법을 이용한 ZnO 박막의 제조
한국진공학회 학술발표회초록집
2004 .08
Crystal structure control in pulsed-pressure MOCVD
한국진공학회 학술발표회초록집
2016 .08
TiN 박막의 N₂ / Ar 비율 및 열처리 조건에 따른 W - TiN 복층 게이트의 특성 분석
한국진공학회 학술발표회초록집
2000 .07
MOCVD of two-dimensional MoS₂
한국진공학회 학술발표회초록집
2017 .08
LS - MOCVD 법에 의한 BaTiO3 박막의 성장
한국진공학회 학술발표회초록집
2002 .06
ALD법으로 증착한 TiN막의 특성
Applied Science and Convergence Technology
2002 .09
Memory capacitor 재료용 MOCVD 장비의 개발 현황
한국진공학회 학술발표회초록집
1998 .07
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