Pre - deposition과 Layer - by - Layer 방법으로 증착된 다결정 실리콘 박막의 특성 연구

권대진; 송병권; 남창우; 홍진표; 김채옥

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자료유형: 학술대회자료

저자정보: 권대진 송병권 남창우 홍진표 김채옥

저널정보: 한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 한국진공학회 제16회 학술발표회논문개요집

발행연도: 1999.2

수록면: 62 - 62 (1page)

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